新版 X線反射率法入門
内容紹介
日本国初のＸ線反射率法に関する専門書が９年ぶりの増補改訂。この１冊で機能薄膜の構造解析が自由自在に。
・表面・界面におけるＸ線の全反射現象の基礎をわかりやすく説明。
・実験方法やデータ解析法を具体例とともにていねいに解説。
・なぜこれほど精密な解析ができるのか、どんな点に注意を払わなくてはいけないかなどについて、ユーザーの立場から詳細に解説。
・半導体、磁性体、光学多層膜、固液界面、有機薄膜、液体表面などの応用事例を紹介。中性子の利用についても取り上げた。
目次
1 X線反射率の基礎
1.1 光とX線
1.2 X線反射率法の特徴
1.3 膜密度はどのように決まるか
1.4 膜厚はどのように決まるか
1.5 膜の表面・界面粗さはどのように決まるか
1.6 いろいろな反射率計算法
1.7 結晶からの反射率
1.8 共鳴磁気反射率
1.9 コヒーレンスとコヒーレント回折
1.10 実際の測定とデータ解析の基礎
2 X線反射率の測定装置と測定方法
2.1 X線反射率測定装置に必要な条件
2.2 X線反射率測定装置の実際
2.3 反射率の測定方法
2.4 散漫散乱測定
2.5 平行X線ビームと2次元検出器の組み合わせによる測定
3 X線反射率のデータ解析法
3.1 はじめに
3.2 X線反射率のデータ解析の前に
3.3 最小二乗フィッティングによる膜構造解析の手順
3.4 単層膜の解析と精度の評価
3.5 多層膜の解析と精度の評価
3.6 多波長X線反射率法
3.7 2波長法による多層膜構造解析
3.8 3波長法による多層膜構造解析
3.9 反射率解析の今後
4 X線反射率のデータ解析の注意事項
4.1 はじめに
4.2 理論反射率の与えるプロファイルの一意性について
4.3 個々のパラメータのX線反射率プロファイルへの寄与の仕方
4.4 最小二乗フィッティング計算に由来する問題
4.5 構造モデルに過度に依存しない解析の試み
4.6 おわりに
5 微小領域分析およびイメージングへの展開
5.1 顕微鏡・イメージング手法とX線反射の融合
5.2 放射光ナノビームによる微小領域分析
5.3 高エネルギー白色X線による微小領域分析
5.4 画像再構成法によるイメージング
5.5 微小領域分析・イメージングの今後
6 時々刻々変化する系の追跡への展開
6.1 はじめに
6.2 多チャンネルX線反射率法（Naudonの方法）
6.3 白色X線反射スペクトル法
6.4 従来の角度走査型の装置によるその場計測
6.5 時々刻々変化する系を追跡するX線反射率計測の近未来
7 X線反射率法の応用
7.1 半導体薄膜
7.2 磁性体多層膜
7.3 X線光学用多層膜
7.4 電気化学界面などの固液界面
7.5 有機・高分子薄膜
7.6 液体の表面，界面，単分子膜
8 X線反射率法と併用すると有意義な関連技術
8.1 微小角入射蛍光X線分析法
8.2 微小角入射X線回折法
8.3 共鳴軟X線スペクトル法
8.4 GISAXS法
8.5 X線光子相関分光法
9 中性子の利用
9.1 はじめに
9.2 中性子反射光学の基礎
9.3 中性子反射率法の特徴
9.4 中性子反射率法の適用例
9.5 X線反射率法経験者の目から見た中性子の利用
おわりに X線反射率の100年
付録1 C++によるX線・中性子反射率計算プログラム
付録2 Pythonによる反射率計算プログラム
ダウンロード・リンク
付録1・2
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