内容紹介
有効性の高い手法を中心にまとめた実用書。より高感度化、高機能化した装置の取扱いの実際を詳しく記述した。化学、金属、半導体分野の企業研究者・技術者向け。Ⅰ巻は電子分光、EXAFS、質量分析など。
目次
1 総論
1．固体と表面とバルク
2．表面の性質
3．固体の表面上で起こる現象
4．固体表面の分析法の発展
5．固体表面を調べる分光法
6．固体の表面のキャラクタリゼーション
7．清浄表面と超高真空
2 電子分光法
1．電子分光法の基礎
2．X線光電子分光法
3．オージェ電子分光法
3 X線吸収分光法
1．X線吸収分光法の基礎
2．実験装置
3．測定法
4．データ解析
5．測定・解析例
6．参考文献
4 二次イオン質量分析法
1．緒言
2．SIMSの原理
3．装置
4．SIMSの特徴
5．SIMSにおける二次イオン強度
6．D-SIMSの実際
7．D-SIMSにおける諸問題
8．D-SIMSの応用例
9．S-SIMS分析の実際
10．S-SIMSによる表面評価の応用例
11．TOF-SIMSによる表面高感度測定
12．SNMSへの展開
13．将来展望
5 グロー放電発光分光分析法
1．グロー放電発光分光分析法（GDOES）の原理
2．発光光源と測定法
3．スペクトル
4．GDOESによる定量分析
5．GDOESによる深さ方向分析
6．GDOESによる深さ方向プロファイルの定量化
7．グロー放電質量分析法（GDMS）との関連