固体表面分析 (1)
- タイトル読み
- コタイヒョウメンブンセキ
- 著者ほか
- 大西孝治/堀池靖浩/吉原一紘・編
- 著者ほか読み
- オオニシタカハル/ホリイケヤスヒロ/ヨシハラカズヒロ
- 発行
- 1995/04/20
- サイズ
- A5判
- ページ数
- 300
- ISBN
- 978-4-06-153364-6
- 定価
- 6,942円(税込)
- 在庫
- 在庫無し
内容紹介
有効性の高い手法を中心にまとめた実用書。より高感度化、高機能化した装置の取扱いの実際を詳しく記述した。化学、金属、半導体分野の企業研究者・技術者向け。Ⅰ巻は電子分光、EXAFS、質量分析など。
目次
1 総論
1.固体と表面とバルク
2.表面の性質
3.固体の表面上で起こる現象
4.固体表面の分析法の発展
5.固体表面を調べる分光法
6.固体の表面のキャラクタリゼーション
7.清浄表面と超高真空
2 電子分光法
1.電子分光法の基礎
2.X線光電子分光法
3.オージェ電子分光法
3 X線吸収分光法
1.X線吸収分光法の基礎
2.実験装置
3.測定法
4.データ解析
5.測定・解析例
6.参考文献
4 二次イオン質量分析法
1.緒言
2.SIMSの原理
3.装置
4.SIMSの特徴
5.SIMSにおける二次イオン強度
6.D-SIMSの実際
7.D-SIMSにおける諸問題
8.D-SIMSの応用例
9.S-SIMS分析の実際
10.S-SIMSによる表面評価の応用例
11.TOF-SIMSによる表面高感度測定
12.SNMSへの展開
13.将来展望
5 グロー放電発光分光分析法
1.グロー放電発光分光分析法(GDOES)の原理
2.発光光源と測定法
3.スペクトル
4.GDOESによる定量分析
5.GDOESによる深さ方向分析
6.GDOESによる深さ方向プロファイルの定量化
7.グロー放電質量分析法(GDMS)との関連