薄膜工学ハンドブック

薄膜に関わる物理と工学を網羅した実用書。
原子層成長や選択成長など薄膜材料開発の最新知見も取り入れ、物性、成長の基礎理論から技術の実際、さらにシミュレーションまで、豊富なデータで幅広く解説した。