Polymers for Microelectronics
Science and Technology
内容紹介
＜英文書＞
電子材料の物理学、化学、応用技術を集大成。マイクロエレクトロニクス用ポリマーを基礎料学、プロセス、応用技術の各方面から第一線の研究者が解説。各種レジスト材料、ポリイミド、光メモリーなどを収載。海外提携先：Springer
目次
I. Photo- and Radiation Physics and Chemistry of Polymers, Resist Materials and Processes for Microelectronics
II. New Photosensitive Polymers and PHB for Optical Memory and Related Applications
III. Polyimides and Related Functional Polymers for Electronics